Kimyasal buhar birikimi ile sınıflandırma
Atmosferik basınç CVD (APCVD), düşük basınçlı CVD (LPCVD), ultra yüksek vakum CVD (UHVCVD), lazer kimyasal buhar Lazer birikimi (LCVD), metal-organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) gibi birçok kimyasal buhar biriktirme yöntemi vardır. , plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme (PECVD) vb.