Yarı iletken yüzey düzleminin tanıtılması
Bir yarı iletken üst düzlemi, çok sayıda ince film tabakasının tekrar tekrar düzenlendiği tek bir kristali ifade eder. Çok tabakalı filmdeki her tabakanın kalınlığı birkaç ila birkaç on atomik tabaka arasında değişir. Bant aralığı ve doping seviyesi gibi her katmanın ana yarı iletken özellikleri bağımsız olarak kontrol edilebilir. Çok tabakalı filmin periyodu, büyüme sırasında yapay olarak kontrol edilebilir ve bu nedenle yapay bir kristal yapı, yani bir üst yapı elde edilir. Çok katmanlı filmdeki her bir katmanın bileşenlerinin mutasyona uğradığı üst yapı, bileşen modülasyonlu bir üst yapı olarak adlandırılır; katkılı bir atom tipine sahip olan her katmanın üst kısmına katkılı bir modülasyon üst yapısı denir.