Yarı iletken çipin yüzeyinde üretilen entegre devreye ince film entegre devresi de denir. Başka bir kalın film entegre devre türü (hibrit entegre devre), bağımsız yarı iletken cihazlardan ve bir substrata veya devre kartına entegre edilmiş pasif bileşenlerden oluşan minyatür bir devredir.
1949'dan 1957'ye kadar Werner Jacobi, Jeffrey Dummer, Sidney Darlington, Yasuo Tarui Prototype'ı geliştirdi, ancak modern entegre devreler 1958'de Jack Kilby tarafından icat edildi. Bunun için 2000 yılında Nobel Fizik Ödülü'nü kazandı, ancak aynı zamanda modern ve pratik bir entegre devre geliştiren Robert Noyce, 1990'ın başlarında öldü.